在所有的清洗方式中，進口晶圓清洗機是效率高、效果的一種，之所以超聲波清洗能夠達(dá)到如此的效果，是與它*的工作原理和清洗方法密切相關(guān)的。我們知道，在生產(chǎn)和生活當(dāng)中，需要清潔的東西很多，硅片清洗機需要清洗的種類和環(huán)節(jié)也很多，如：物件的清除污染物，疏通細(xì)小孔洞，常見的手工清洗方法對異型物件以及物件隱蔽處無疑無法達(dá)到要求，即使是蒸汽清洗和高壓水射流清洗也無法滿足對清潔度較高的需求，超聲波清洗對物件還能達(dá)到殺滅細(xì)菌、溶解有機污染物、防止過腐蝕等，因此，硅片清洗機被日益廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)：

 

　　1、機械行業(yè)：防銹油脂的去除；量具的清洗；機械零部件的除油除銹；發(fā)動機、化油器及汽車零件的清洗；過濾器、濾網(wǎng)的疏通清洗等。

 

　　2、表面處理行業(yè)：電鍍前的除油除銹；離子鍍前清洗；磷化處理；清除積炭；清除氧化皮；清除拋光膏；金屬工件表面活化處理等。

 

　　3、儀器儀表行業(yè)：精密零件的高清潔度裝配前的清洗等。

 

　　4、電子行業(yè)：印刷線路板除松香、焊斑；高壓觸點等機械電子零件的清洗等。

 

　　5、醫(yī)療行業(yè)：醫(yī)療器械的清洗、消毒、殺菌、實驗器皿的清洗等。

 

　　6、半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體晶片的高清潔度清洗。

 

　　7、鐘表首、飾行業(yè)：清除油泥、灰塵、氧化層、拋光膏等。

 

　　8、化學(xué)、生物行業(yè)：實驗器皿的清洗、除垢。

 

　　9、光學(xué)行業(yè)：光學(xué)器件的除油、除汗、清灰等。

 

　　10、紡織印染行業(yè)：清洗紡織錠子、噴絲板等。

 

　　11、石油化工行業(yè)：金屬濾網(wǎng)的清洗疏通、化工容器、交換器的清洗等。

 

　　經(jīng)濟的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費品的質(zhì)量要求也越來越高，等離子技術(shù)隨之逐步進入生活消費品生產(chǎn)行業(yè)中；另外，科技的不斷發(fā)展，各種技術(shù)問題的不斷提出，新材料的不斷涌現(xiàn)，越來越多的科研機構(gòu)已認(rèn)識到等離子技術(shù)的重要性，硅片清洗機并投入大量資金進行技術(shù)攻關(guān)，等離子技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應(yīng)用范圍會越來越廣；技術(shù)的成熟，成本的降低，其應(yīng)用會更加普及。

 

　　硅片清洗機的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

 

　　硅片清洗機有三種方法：

 

　?、偎⑾椿虿料矗嚎沙ヮw粒污染和大多數(shù)粘在片子上的薄膜。

 

　?、诟邏呵逑矗菏怯靡后w噴射片子表面，噴嘴的壓力高達(dá)幾百個大氣壓。高壓清洗靠噴射作用，片子不易產(chǎn)生劃痕和損傷。但高壓噴射會產(chǎn)生靜電作用，靠調(diào)節(jié)噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。

 

　?、鄢暡ㄇ逑矗撼暡暷軅魅肴芤?，靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是，從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段，清洗效果更好。

 

　　硅片清洗機發(fā)展展望：

 

　　伴隨著硅片的大直徑化，器件結(jié)構(gòu)的超微小化、高集成化，對硅片的潔凈程度、表面的化學(xué)態(tài)、微粗糙度、氧化膜厚度等表面狀態(tài)的要求越來越高。

 

　　同時，要求用更經(jīng)濟的、給環(huán)境帶來更少污染的工藝獲得更高性能的硅片。高集成化的器件要求硅片清洗要盡量減少給硅片表面帶來的破壞和損傷，盡量減少溶液本身或工藝過程中帶來的沾污。

 

　　硅片清洗機正向著小型化、非盒式化及一次完成化（所有清洗與干燥步驟在一個槽內(nèi)進行）方向發(fā)展，以減少工藝過程中帶來的沾污，滿足深亞微米級器件工藝的要求。這無論對清洗工藝還是對清洗設(shè)備都是一個極大的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的清洗方法已不能滿足要求。

 

　　臭氧水、兆聲波、電解離子水等的應(yīng)用顯示出很好的去除硅片表面顆粒和金屬沾污的能力，對硅片表面微觀態(tài)的影響很小。而且，它們的使用使清洗設(shè)備小型化及清洗工藝一次完成化的實現(xiàn)成為可能。

 

　　同時，硅片清洗機對環(huán)境的低污染度也是傳統(tǒng)的清洗溶液所不能比擬的。在未來的清洗工藝中它們可能會被廣泛地應(yīng)用。

 

　　主營導(dǎo)航：熱真空系統(tǒng)，光學(xué)元件鍍膜機，單片晶圓清洗機，進口微波去膠機，進口雙模式刻蝕機