兆聲清洗機(jī)是一款帶有小占地面積的理想設(shè)備，并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設(shè)備都具有出眾的清洗能力，并可用于非常廣泛的基片。提供了可控的化學(xué)試劑滴膠能力，這使得顆粒從基片表面的去除能力得以進(jìn)一步加強(qiáng)。SWC和LSC具備對(duì)點(diǎn)試劑滴膠系統(tǒng)，可以zui大程度節(jié)省化學(xué)試劑的用量的。滴膠系統(tǒng)支持可編程的化學(xué)試劑混合能力，提供了可控的化學(xué)試劑在整個(gè)基片上的分布。

　　兆聲清洗機(jī)具有以下特點(diǎn)：

　　1、械手或多機(jī)械手組合，實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。

　　2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。

　　3、自動(dòng)上下料臺(tái)，準(zhǔn)確上卸工件。

　　4、凈化烘干槽，烘干前處理技術(shù)，工作干燥無(wú)水漬。

　　5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。

　　6、具備拋動(dòng)清洗功能，保證清洗均勻。

　　7、全封閉清洗均勻。

　　8、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。

　　兆聲清洗機(jī)不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了超聲波清洗的缺點(diǎn)。兆聲無(wú)損清洗機(jī)的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗。在清洗過(guò)程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長(zhǎng)為1m，頻率為0.8MHZ。在聲波的驅(qū)動(dòng)下，溶液的分子運(yùn)動(dòng)得更快。瞬時(shí)速度可達(dá)30cm/s。因此，無(wú)法形成超聲清洗等氣泡。相反，只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進(jìn)入清洗溶液中。