亚洲热热,日韩二三区,亚洲精品欧美精品日韩精品,中文字幕有码无码人妻在线

產(chǎn)品中心/ products

您的位置：首頁  -  產(chǎn)品中心  -  生長系統(tǒng)  -  MOCVD設備  -  NMC-3000等離子輔助MOCVD

NMC-3000等離子輔助MOCVD

NMC-3000等離子輔助MOCVD系統(tǒng)：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)（PA-MOCVD）,該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置（各帶獨立的冷卻槽）、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵（5 x 10-7Torr極限真空）、PC全自動控制。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2023-11-13
  • 訪  問  量：1760
立即咨詢

聯(lián)系電話：021-62318025

產(chǎn)品詳情

等離子輔助MOCVD技術

NMC-3000等離子輔助MOCVD概述：NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。

目前，這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

NMC-3000等離子輔助MOCVD應用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-3000等離子輔助MOCVD系統(tǒng)特點：

  • 臺式系統(tǒng)
  • 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
  • 加熱的氣體管路
  • 950 °C樣品臺，2”晶圓片
  • 3個氣體環(huán)
  • RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
  • 工藝完成后N2自動沖洗
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
  • 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問控制
  • 完整的安全聯(lián)鎖

 

 

在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

新聞資訊
聯(lián)系我們
產(chǎn)品中心
021-62318025
掃碼
加微信
版權所有©2024 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號：   sitemap.xml   技術支持：化工儀器網(wǎng)   管理登陸