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等離子去膠機具有體積小，性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復性好、價格低、使用方便等特點。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大專院校的機型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝，同時有RIE刻蝕功能，可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國外。等離子去膠機主要性能：1.開放式設計，可快速加載和卸載晶圓。2.基片放置在石英上，以避免濺射/再沉積電極材料3.通過頂部電極上的“蓮蓬頭”進氣口將氣體注入工藝室4.電感耦合等離子體(ICP)和電極的獨立射頻發(fā)生器提供對離子能量和離子密...

微波等離子清洗機是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài)，也叫做物質的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。微波等離子清洗機的優(yōu)勢：1、清洗對象經清洗機之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣?..

光學鍍膜系統(tǒng)無論是無機材料還是有機材料制成的眼鏡片，在日常的使用中，由于與灰塵或砂礫（氧化硅）的摩擦都會造成鏡片磨損，在鏡片表面產生劃痕。與玻璃片相比，有機材料制成的硬性度比較低，更易產生劃痕。通過顯微鏡，我們可以觀察到鏡片表面的劃痕主要分為二種，一是由于砂礫產生的劃痕，淺而細小，戴鏡者不容易察覺；另一種是由較大砂礫產生的劃痕，深且周邊粗糙，處于中心區(qū)域則會影響視力。光學鍍膜系統(tǒng)特點分類：主要的光學薄膜器件包括反射膜、減反射膜、偏振膜、干涉濾光片和分光鏡等等，它們在國民經濟和...

熱真空環(huán)境模擬試驗設備用于極真空及可控均勻的加熱和冷卻循環(huán)套件下測試器件或樣品。該系統(tǒng)具有計算機控制、安全連鎖，以及多級密碼授權訪問保護的功能。它可以用于超過24小時的圈子全自動熱、冷循環(huán)情況下測試器件/樣品，溫度條件通過程序定義。該系統(tǒng)通常的應用之一是太空模擬。系統(tǒng)腔體的大致尺寸為：直徑24"，長度43"。帶有一個16"x32"的滑動加熱平，可以冷卻到零下100攝氏度。熱真空平臺也可以加熱到150攝氏度，具有高度的均勻度。在去邊3cm后整個平臺的溫度均勻度可達/-1攝氏度。...

進口光學鍍膜機工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度，材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。進口光學鍍膜機產品優(yōu)點及特點：1.配置電子束及電阻蒸發(fā)系統(tǒng)；2.電子槍在整個蒸發(fā)過程中膜料表面平整，蒸發(fā)分布均勻；3.配置石英晶體膜厚控制儀可實現成膜速度和鍍膜過程的自動控制；4.配置大功率離子源，保證膜層質量；5.總體結構設計合理，操作方便。進口光學鍍膜機的清...

掩模板清洗機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，微波等離子清洗機發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，從而達到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。微波等...

熱真空試驗箱是在地面上模擬太空環(huán)境的環(huán)境模擬試驗設備。近幾年來,熱真空試驗設備在航天航空業(yè)產品的研制和定型中發(fā)揮了重要作用。熱真空試驗箱由于結構復雜,在運行中有時會出現一些異?，F象,如果不能及時排除,將延長試驗周期,影響產品的研制工作。為此,我們對試驗箱的基本工作原理作一些簡要闡述,并介紹如何對熱真空試驗箱的一般故障進行分析判斷和排除。1、斷開制冷控制,制冷閥關閉,檢查真空計通訊接口有無松動,分子泵轉速有無發(fā)生變化,經檢查都正常,說明真空機組的問題可以排除。2、由于低溫降溫階...

空間環(huán)境試驗是航天器研制工作中的重要程序，由于衛(wèi)星是由數萬個零部件組成的復雜產品，發(fā)射后出現故障，在軌道上不能直接維修，很難查明原因，衛(wèi)星的研制，發(fā)射耗資巨大，一旦發(fā)射失敗，不僅在經濟上造成巨大損失，在政治和軍事上也將帶來重大影響，過去的實踐經驗證明，衛(wèi)星故障的70%是由于衛(wèi)星所經歷的環(huán)境所造成。因此，在地面上必須做充分的環(huán)境試驗后才能發(fā)射。隨著航天技術的發(fā)展，應用衛(wèi)星的新特點是長壽命、多功能，對衛(wèi)星環(huán)境試驗提出更高、更嚴格的要求。空間環(huán)境模擬試驗設備的用途：用于軍工和航天產...